淄博匯諾機械設備有限公司

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擴散泵真空機組

  • 產品分類: 真空機組系列
  • 生產廠家: 淄博匯諾機械設備有限公司
  • 價格: 來電咨詢
  • 添加時間: 19/06/18
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產品詳情
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擴散泵真空機組概述:

      擴散泵真空機組是以擴散泵做為主泵,串以機械泵(一般常用2X型旋片式真空泵、滑閥真空泵)、和增壓泵,并配以多種閥門、儀表組成的高真空獲得應用產品??色@得真空為10-4pa,抽氣量300-40000L/S供用戶選擇。擴散泵真空機組具有高真空、大抽速、真空穩定等特點,被廣泛應用在電子、化工、冶金、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空冷凍干燥設備、真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得。

      擴散泵真空機組運行簡介:


1、2X旋片式真空泵

2、機架

3、電磁充氣閥

4、閥門A

5、羅茨真空泵

6、真空測量接頭

7、金屬真空波紋管

8、放氣閥

9、閥門B

10、真空測量接頭

11、真空測量接頭

12、閥門C

13、冷阱

14、擴散真空泵

16、擴散泵支架

 

擴散泵單獨不能使用,一定要串聯前級泵,如有必要需在串聯1臺中間增壓泵進行工作(以下以前級泵以2X系列旋片式真空泵為例、中間增壓泵以ZJP羅茨真空泵為例)。

擴散泵真空機組開啟順序:

      1、關閉擴散泵真空機組連接系統的閥門C,關閉閥門A、B對2X旋片式真空泵和羅茨泵進行正反轉試車。

      2、確定轉向后,打開閥門C、打開閥門B,并運行2X旋片式真空泵。

      3、至真空抽至1000pa時,開啟羅茨真空泵直至真空度達到10pa以內。

      4、打開A閥門,同時關閉B閥門(此時真空度會有一定下降)。

      5、當真空度回升到10pa以內后,開啟擴散真空泵加熱爐,直至擴散泵機組正常工作。

      擴散泵真空機組關閉順序:

      1、關閉閥門C,并停止擴散泵加熱爐。

      2、運行10分鐘左右關閉羅茨真空泵。

      3、等待擴散泵油溫降至40攝氏度左右時,關閉閥門A,同時關閉2X旋片式真空泵。

      4、當擴散泵泵殼溫度降到室溫時,打開放氣閥8。機組關閉完成。

      使用擴散泵真空機組注意事項。

      1、自擴散泵運行到整套機組關閉,擴散泵冷卻水不能停止。

      2、真空度高于10pa及以上時,擴散泵不得開啟加熱爐。

      3、擴散泵運行期間,如遇突然停電時,應迅速關閉閥門A、B、C。

      擴散泵真空機組選型參考

      1、首先確定系統所需真空度。

      確定好系統所需真空度后,方可選擇是否配備冷阱、羅茨真空泵、冷卻水溫度等。

      注:冷卻水溫度范圍為1-20攝氏度。冷卻水溫度越低,真空度越高。反之則真空度低。

2、選擇擴散泵真空機組所配閥門。

      一般選擇閥門有手動高真空蝶閥、氣動高真空蝶閥、氣動高真空球閥、高真空擋板閥。

      自動化程度越高,所配置閥門越多,價格越高。反之手動高真空蝶閥價格更低。不推薦使用電動閥門。

3、了解系統在高真空下生產的產氣量大小。

      如若在高真空下系統產氣量微弱,可考慮增設1臺維持泵,以避免造成電能浪費。

擴散真空泵機組常用選型配置表

型號 Model

JTK-100

JTK-150

JTK-200

JTK-300

JTK-400

JTK-500

JK-100

JK-150

JK-200

JK-300

JK-400

JK-630

JK-800

壓力(Pa)

10-4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

抽氣速率(L/S)

180

370

600

1400

2500

4000

100

280

420

900

1800

4000

6500

排氣壓力(Pa)

35

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加熱功率(Kw)

0.8

1.2

1.5

2.4

4.5

6

0.8

1

1.5

2.1

4.8

8.4

19.8

配用主泵

TK-100

TK-150

TK-200

TK-300

TK-400

TK-500

K-100

K-150

K-200

K-300

K-400

K-630

K-800

配用擋板

LB-100

LB-150A

LB-200B

LB-300A

LB-400

LB-500

LB-100

LB-150A

LB-200B

LB-300A

LB-400

LB-630

LB-800

配用閥門

GD-100

GD-150

GD-200

GDQ-300

GDQ-400

GDQ-500

GD-100

GD-150

GD-200

GDQ-300

GDQ-400

GDQ-630

GDQ-800

配用前級泵

2X-4

2X-8

2X-15

2X-30

2X-70

2X-70 ZJ-600

2X-4

2X-8

2X-8

2X-15

2X-30

2X-70

2X-70 ZJ-600

接口法蘭

LF-100

LF-150

LF-200

LF-300

LF-400

LF-500

LF-100

LF-150

LF-200

LF-300

LF-400

LF-630

LF-800

結構尺寸(mm)

H

870

950

1000

1300

1600

1700

870

950

1000

1300

1600

2000

2400

L

650

750

850

950

1150

1500

550

650

750

850

950

1100

2000

擴散泵真空機組的優缺點

擴散泵的優點:

1、對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,真空可達到更低的壓強;

2、維護簡單;

3、費用低;

4、不易出故障;

擴散泵的缺點:

1、擴散泵需要冷卻水,開關機須等待;

2、易造成樣品室污染;

3、如果前級泵所產生的壓強高于反壓強,則擴散泵就不能正常工作。

擴散泵比分子泵在開關機時間上均要長上十分鐘,需要水冷系統,但在可獲得的真空度方面,卻要高上一個數量級。了解一個產品的優缺點,對于更合理的使用這種產品有事半功倍的效果,擴散泵有著它的優勢,但是同時它也存在著缺點,但是如果能夠不斷的改進它的缺點,優化其優點,對于產品的進一步提升有不可估量的效果。這也應該成為未來研究擴散泵的一個方向,專業人士應該重視這方面的研究。




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